承建時間：2013年9月-2014年3月
建筑面積：5.7萬平方米
潔凈面積：6000平方米
潔凈級別：十級~千級
承包范圍：本項目為2、3層（6英寸）和4層（實驗室），B1、1層預留（8英寸）；專業(yè)內(nèi)容：內(nèi)裝、管道、電氣、自控、暖通
項目亮點：填補研發(fā)機構(gòu)與規(guī)模代工廠之間的空白，滿足MEMS相關(guān)中小企業(yè)工藝研發(fā)和小批量生產(chǎn)的需求，促進MEMS中小企業(yè)成長和產(chǎn)業(yè)快速提升。
項目高清效果圖（鳥瞰圖）
項目高清效果圖（鳥瞰圖）
